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1.投影光刻机调平调焦系统原理与故障分析

作者：张文雅 ; 赵英伟

关键词：调平 ; 调焦 ; 投影光刻机

年：2019

2.光刻机物镜主动阻尼接口设计及测量系统布局

作者：葛黎黎 ; 周畅 ; 朱岳彬

关键词：光刻机 ; 主动阻尼接口 ; 测量系统布局

年：2019

3.光刻机工件台解耦矩阵校准测试方法研究

作者：汪杰君 ; 王剑峰 ; 张志钢

关键词：光刻机工件台 ; 串扰 ; GB解耦矩阵 ; 传递函数法

年：2019

4.光刻机测量支架减振效果研究

作者：葛黎黎 ; 刘赟 ; 周畅

关键词：光刻机 ; 被动减振 ; 主动减振

年：2019

5.光刻机照明系统光瞳特性参数的评估算法

作者：甘雨 ; 张方 ; 朱思羽 ; 龚爽 ; 黄惠杰 ; 杨宝喜

关键词：测量 ; 光刻 ; 光学设计 ; 中继镜组 ; 光瞳特性参数

年：2019

6.光刻机工作台永磁同步电机伺服控制系统设计

作者：丁桃宝 ; 万斌斌 ; 戴磊 ; 田会峰

关键词：光刻机工作台 ; 永磁同步电机 ; 伺服控制系统

年：2019

7.极紫外光刻机真空材料放气分率的单质谱测试方法研究

作者：罗艳 ; 王魁波 ; 吴晓斌

关键词：极紫外光刻机(EUVL) ; 真空材料 ; 放气分率 ; 四极质谱计(QMS)

年：2018

8.多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计

作者：赵可为 ; 谭艾英 ; 尹韶云 ; 蔡文涛 ; 杨若夫 ; 陈建军 ; 佟首峰

关键词：测量 ; 照度均匀度 ; 多点测量 ; 光刻技术 ; 光刻机 ; 实时检测

年：2018

9.光刻机掩模台djerk前馈控制算法研究

作者：石婷婷 ; 谈恩民 ; 张志钢 ; 张霖

关键词：djerk前馈 ; 机械模态 ; 掩模台 ; 运动控制

年：2019

10.光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究

作者：程伟林 ; 张方 ; 林栋梁 ; 曾爱军 ; 杨宝喜 ; 黄惠杰

关键词：光数据存储 ; 光刻机 ; 照明系统 ; 均匀性校正

年：2018

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