表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定
详细信息
- 标准号：BS ISO 14706-2014
- 发布日期：2014-07-31
- 英文题名：Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
- 英文主题词：Surface chemistry ; Surface properties ; Surfaces ; Surfactants ; Chemical analysis and testing ; Contamination ; Contaminants ; Silicon ; Substrates (insulating) ; X-ray fluorescence spectrometry ; X-ray analysis ; Fluorimetry ; Reflection ; Atoms ; Density ; Epitaxial layers ; Impermeability ; Freedom from holes ; Tightness
- 标准状态：现行
- 发布单位：GB-BSI
- 实施日期：2014-07-31
- 国际标准分类号：71.040.40
- 载体形态：36P.;A4
- 中国标准分类号：H17
- 国别：英国标准学会
文摘
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