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1.表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定
标准号：BS ISO 14706-2014
国别：英国标准学会
发布日期：2014-07-31
2.砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
标准号：GB/T 8758-2006
国别：国家质检总局
发布日期：2006-07-18
3.砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
标准号：GB/T 11068-2006
国别：国家质检总局
发布日期：2006-07-18
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