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1.MEMS加速度计的1/f噪声分析及滤波技术研究
作者:童姣叶
授予学位:硕士
学位授予单位:电子科技大学
学位年度:2016
2.基于氮化铝的压电谐振式MEMS加度计研究
作者:王一翔
授予学位:硕士
学位授予单位:浙江大学
学位年度:2017
3.基于变面积电容传感的大量程MEMS加速度计加工工艺研究
作者:朱涛
授予学位:硕士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2015
4.闭环叉指式电容微机械加速度计动态性能研究及优化
作者:曾建
授予学位:硕士
学位授予单位:电子科技大学
学位年度:2016
5.高精度MEMS加速度计中欧姆接触工艺研究
作者:王超
授予学位:硕士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2015
6.低G值扭摆式电容加速度计关键技术研究
作者:李源
授予学位:硕士
学位授予单位:重庆大学
学位年度:2016
7.梳齿式微机械加速度计加工工艺研究
作者:张文婷
授予学位:硕士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2015
8.基于球形内检测器的长输管道微小泄漏检测关键技术研究
作者:郭世旭
授予学位:博士
学位授予单位:天津大学
学位年度:2015
9.MEMS加速度计封装可靠性研究
作者:李博伟
授予学位:硕士
学位授予单位:桂林电子科技大学
学位年度:2011
10.MEMS加速度计校正系统研究
作者:胡蝶
授予学位:硕士
学位授予单位:武汉理工大学
学位年度:2011
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