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1.大范围二维纳米检测系统的设计研究

作者：齐永岳

关键词：纳米测量 ; 激光干涉仪 ; 耦合差动 ; 误差补偿 ; 精度分析

论文级别：博士

学位年度：2004

2.用于掩模板表面形貌测量的外差干涉显微系统的研究

作者：柳忠尧

关键词：微电子掩模板 ; 共路原则 ; 外差干涉 ; 共焦显微 ; 偏振干涉

论文级别：博士

学位年度：2004

3.莫尔条纹纳米级细分关键技术研究

作者：常丽

关键词：光栅 ; 莫尔条纹 ; 高倍细分 ; 误差修正 ; 纳米级

论文级别：博士

学位年度：2013

4.宏/微两级驱动的大行程高精度二维定位平台基础技术研究

作者：李欣欣

关键词：超精密定位平台 ; 超磁致伸缩致动器 ; 磁滞逆模型 ; 有限差分-强跟踪滤波 ; 多模广义预测控制 ; 平面电容传感器 ; 二维位移测量 ; 直接解耦测量 ; 大量程

论文级别：博士

学位年度：2008

5.基于DSP2812的光栅细分技术研究

作者：朱维娜

关键词：光栅细分 ; 幅值相位法 ; DSP2812

论文级别：硕士

学位年度：2012

6.基于MEMS惯性传感器的跌倒检测与预警研究

作者：梁丁

关键词：跌倒检测 ; 跌倒预警 ; 惯性传感器 ; 前置时间

论文级别：硕士

学位年度：2012

7.激光干涉仪信号处理系统及纳米测量机控制系统的研究

作者：来展

关键词：纳米计量 ; 溯源 ; 激光干涉仪 ; 信号处理系统 ; 控制系统 ; 误差修正 ; CPLD

论文级别：硕士

学位年度：2011

8.基于DSP的单频激光实时信号解调方法研究

作者：王坚

关键词：干涉信号解调 ; 高速数据采集处理 ; 算法优化 ; DSP

论文级别：硕士

学位年度：2011

9.便携式相位光栅轮廓全貌测量技术研究

作者：陈新禹

关键词：视觉测量 ; 相机标定 ; 数据拼接 ; 数据融合 ; 数据处理 ; 相位光栅

论文级别：博士

学位年度：2014

10.磁头飞行姿态测量系统的研究

作者：张蕊

关键词：磁头飞行姿态 ; 外差干涉 ; 共路原则 ; 双折射透镜 ; PW方法 ; 伪色差

论文级别：硕士

学位年度：2004

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