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1.纳米压印设备的优化改进
作者：于梦楠
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2016
2.基于AFM探针轨迹及工作台运动结合的纳米加工技术研究
作者：于博文
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2015
3.基于AFM的纳米加工深度模型及跨尺度结构加工工艺研究
作者：耿延泉
授予学位：博士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2016
4.步进扫描光刻机关键微位移机构的研发
作者：李维佳
授予学位：硕士
学位授予单位：东华大学
学位年度：2015
5.单晶铜纳米加工过程对其组织结构变化及温度场影响研究
作者：王全龙
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2011
6.单晶硅表面摩擦诱导纳米凸结构的形成、机理及应用研究
作者：余丙军
授予学位：博士
学位授予单位：西南交通大学
学位年度：2012
7.基于LIGA技术的光热微驱动机构研究
作者：赵冬伟
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2012
8.基于原子力显微镜的纳米加工技术及软件系统研究
作者：朱吉牧
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2005
9.二维零位光栅原理及其实验系统研究
作者：周成刚
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2007
10.MEMS压阻式微接触测头测试校准系统的研究
作者：赵大博
授予学位：硕士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2007
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