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1.步进扫描光刻机关键微位移机构的研发
作者：李维佳
授予学位：硕士
学位授予单位：东华大学
学位年度：2015
2.光学表面离子束加工的材料去除机理及表面演变机制研究
作者：梁晓
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2016
3.光栅光刻机干涉条纹周期和波前的测量与控制研究
作者：邱巨成
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2016
4.精密六自由度运动机构动态性能优化研究
作者：蔡帅
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2016
5.高精度平面光栅干涉仪的设计与研究
作者：吴亚风
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2015
6.大尺寸光栅平面度与周期分散性测量技术的研究
作者：陈坤
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2016
7.多轴镜组分光平行性与分光效率检测技术研究
作者：李淼淼
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2016
8.光刻机工件台六自由度零位传感器结构设计与信号处理
作者：张旭
关键词：光刻机
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2014-01-01
9.超精密运动平台模型辨识研究
作者：王斌
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2014
10.ArF光源净化与温控技术研究
作者：方宇翔
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2014
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