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1.金刚石基片上压电薄膜的制备及其生长特性研究

作者：孙剑

关键词：自持金刚石厚膜 ; 压电薄膜 ; 声表面波器件 ; ZnO薄膜 ; GaN薄膜

论文级别：博士

学位年度：2008

2.ZnO：In薄膜的制备及其光电性能研究

作者：韩彬

关键词：ZnO薄膜 ; ZnO ; In薄膜 ; 超声喷雾热分解 ; 磁控溅射 ; 光电性能

论文级别：硕士

学位年度：2009

3.衬底温度和激光强度对PLD制备ZnO薄膜性质影响的研究

作者：李烨

关键词：脉冲激光沉积 ; ZnO薄膜 ; 衬底温度 ; 激光强度

论文级别：硕士

学位年度：2009

4.ZnO薄膜晶体管的制备及CdS_xSe_（1-x）量子点光学特性研究

作者：陈希

关键词：ZnO ; 薄膜晶体管 ; CdS_xSe_(1-x) ; 量子点 ; 光致发光谱

论文级别：硕士

学位年度：2009

5.FBAR用AlN薄膜的MOCVD制备

作者：宁金叶

关键词：氮化铝薄膜 ; Mo ; ZrN ; MOCVD ; 薄膜体声波谐振器

论文级别：硕士

学位年度：2009

6.掺氮氧化锌薄膜的制备和p型转变研究

作者：沈洪雪

关键词：氮掺杂ZnO薄膜 ; 射频磁控溅射 ; p型ZnO薄膜 ; 受主杂质 ; 浅受主 ; 红移

论文级别：硕士

学位年度：2009

7.ZnSe薄膜的电沉积法制备及其性能表征

作者：蔡晓锐

关键词：ZnSe薄膜 ; 电化学沉积 ; 正交实验

论文级别：硕士

学位年度：2009

8.二氧化钛自清洁薄膜的溶胶—凝胶法制备

作者：王建华

关键词：纳米TiO_2 ; 自清洁玻璃 ; 超亲水性 ; 复合薄膜 ; 光催化活性

论文级别：硕士

学位年度：2009

9.基于ECR-PEMOCVD技术的GaMnN薄膜的制备及其表征

作者：何欢

关键词：稀磁半导体 ; 等离子体增强金属有机物化学气相沉积 ; GaMnN薄膜 ; 铁磁性 ; 居里温度

论文级别：硕士

学位年度：2008

10.Si/SiO_2/LiNbO_3(:Fe/Mn)薄膜制备及发光性质研究

作者：左长云

关键词：射频磁控溅射 ; SiO_2缓冲层 ; LiNbO_3多层结构薄膜 ; 光致发光

论文级别：硕士

学位年度：2009

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