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3.基于MEMS技术的PCR生物芯片的研究
作者：何文波
论文级别：硕士
学位年度：2003
5.CVD法采用TEOS-O_3沉积二氧化硅膜
作者：李娟
论文级别：硕士
学位年度：2004
9.基于GaSb的热光伏电池工艺技术的研究
作者：杨兴典
论文级别：硕士
学位年度：2008
10.悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究
作者：金虎
论文级别：硕士
学位年度：2000
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