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在“CNKI学位论文”中，命中：2,390条，耗时：0.0319847 秒

1.微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究

作者：赵双双

关键词：微光学集成 ; 光栅干涉 ; 三明治式传感结构 ; 加速度传感器 ; 微光机电系统MOEMS ; 相位调制-解调

论文级别：博士

学位年度：2013

2.多腔串联压电泵结构设计及关键技术研究

作者：姜德龙

关键词：压电振子 ; 压电泵 ; 多腔串联 ; 轮式平板阀 ; 驱动电源 ; 闭环控制

论文级别：博士

学位年度：2013

3.离子注入SOI及SOI基准三维光子晶体的研究

作者：秦希峰

关键词：SOI ; 土离子 ; 离子注入 ; 晶格损伤 ; 准三维光子晶体

论文级别：博士

学位年度：2013

4.高、低温环境下典型微结构动态特性及测试技术研究

作者：佘东生

关键词：微结构 ; 动态特性测试 ; 高低温环境 ; 底座激励 ; 激波

论文级别：博士

学位年度：2013

5.基于压电厚膜的MEMS振动能量采集器研究

作者：唐刚

关键词：微机电系统（MEMS） ; 能量采集器 ; 压电厚膜 ; 微能源 ; 振动

论文级别：博士

学位年度：2013

6.球形阴极数控电解加工关键技术研究

作者：傅秀清

关键词：数控电解加工 ; 球形阴极 ; PMAC ; 流场 ; 有限元法 ; 成形规律

论文级别：博士

学位年度：2010

7.不锈钢表面微、纳米薄膜的制备及光催化和抗菌性能研究

作者：詹玮婷

关键词：不锈钢表面改性 ; 阳极氧化 ; 光催化 ; 异质结 ; 抗菌性能

论文级别：博士

学位年度：2012

8.轮式阀微型压电泵的设计理论及试验研究

作者：刘勇

关键词：微型压电泵 ; 轮式阀 ; 碰撞振动 ; 惯性流 ; 加速寿命试验

论文级别：博士

学位年度：2012

9.高精度SOI基光子晶体功能器件制备与特性研究

作者：贾巍

关键词：高精度 ; 低损耗 ; 硅基 ; 光子晶体 ; 制备技术

论文级别：博士

学位年度：2012

10.石墨烯的低温等离子体制备及掺杂研究

作者：徐轶君

关键词：石墨烯 ; 双频容性耦合等离子体 ; 低温 ; 离子束

论文级别：博士

学位年度：2013

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