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1.双酚A型光刻胶的极紫外光刻研究
论文作者：王亮乾 ; 许箭 ; 王双青 ; 杨国强
论文关键词：光刻胶 ; 极紫外光刻 ; 光刻工艺
会议召开时间：2016-07-01
5.阳极氧化Ta_2O_5薄膜电容制作工艺研究
论文作者：宋振国 ; 王斌
会议召开时间：2017-05-08
6.取向硅钢细化磁畴技术专利分析
论文作者：王媛
会议召开时间：2016-08-25
10.高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法
论文作者：诸波尔 ; 李思坤 ; 王向朝
会议召开时间：2016-09-25
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