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1.高深宽比硅通孔的制作与填充技术
作者：余成昇
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2016
2.面向微装配的自动化声操纵理论与实践研究
作者：孟坚鑫
授予学位：博士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2015
3.基于AFM和ICP制备高深宽比微纳沟槽结构的实验研究
作者：刘畅
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2009
4.基于超声辐射力场的微构件非接触操纵关键技术的研究
作者：范宗尉
授予学位：博士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2011
5.力平衡式三轴微机械加速度计的研究与设计
作者：张昱
授予学位：硕士
学位授予单位：重庆邮电大学
学位年度：2006
6.基于MEMS技术的胰岛素集成系统的研究
作者：马斌
授予学位：博士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2006
7.基于准LIGA技术制作微齿轮的研究
作者：邓扬明
授予学位：硕士
学位授予单位：北京工业大学
学位年度：2005
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