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1.基于GMM和柔性铰链的大位移微致动器设计与研究
作者：江晓阳
授予学位：硕士
学位授予单位：武汉理工大学
学位年度：2011
2.基于GMA的可控径向油膜轴承控制系统的研究
作者：王琦
授予学位：硕士
学位授予单位：上海大学
学位年度：2009
3.电场活化聚合物(DE)平面弯曲致动器设计
作者：刘亚东
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2009
4.V型电热硅微致动器性能及其应用研究
作者：张永宇
授予学位：博士
学位授予单位：上海大学
学位年度：2006
5.MEMS刮板式微致动器的运动机理及测试研究
作者：刘永武
授予学位：硕士
学位授予单位：上海大学
学位年度：2006
6.基于VHDL-AMS语言的MEMS系统级建模与仿真
作者：郭玮玮
授予学位：硕士
学位授予单位：西安工业大学
学位年度：2009
7.基于PZT厚膜的MEMS微变形镜
作者：许晓慧
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2008
8.微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化
作者：李伟剑
授予学位：博士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2004-04-01
9.纳米级测控及环境保障
作者：袁芳
授予学位：硕士
学位授予单位：南京航空航天大学
学位年度：2002-03-01
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