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1.砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
标准编号：GB/T 11068-2006
标准类型：国家标准
发布单位：全国有色金属标准化技术委员会
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
2.砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
标准编号：GB/T 8758-2006
标准类型：国家标准
发布单位：全国有色金属标准化技术委员会
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
3.重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
标准编号：GB/T 14847-2010
标准类型：国家标准
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
4.硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
标准编号：GB/T 14146-2009
标准类型：国家标准
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
5.重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
标准编号：GB/T 14847-1993
标准类型：国家标准
发布日期：1993-12-30
实施日期：1994-09-01
6.硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
标准编号：GB/T 14142-1993
标准类型：国家标准
关键词：外延层 ; 完整 ; 晶体(电子)硅 ; 检验
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
7.砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
标准编号：GB/T 11068-1989
标准类型：国家标准
发布日期：1989-03-31
实施日期：1990-02-01
8.硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
标准编号：GB/T 14141-1993
标准类型：国家标准
关键词：硅 ; 扩散 ; 电阻测量 ; 离子 ; 外延层
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
9.硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
标准编号：GB/T 14146-1993
标准类型：国家标准
关键词：汞探针 ; 载流子 ; 浓度
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
10.硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
标准编号：GB/T 14145-1993
标准类型：国家标准
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
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