半导体(SnO<,2>)薄膜电热元件的研制及电学性能的分析

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• 作者：张秀梅张瑞英杨殿魁李志芳张秀云
• 会议时间：2003-05-20
• 关键词：半导体电热膜 ; 电阻—温度曲线 ; 半导体薄膜技术
• 作者单位：内蒙古工业大学材料科学与工程学院金属材料系(内蒙古呼和浩特市
• 母体文献：第八次全国热处理大会论文集
• 会议名称：第八次全国热处理大会
• 会议地点：北京
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

采用化学热喷涂法制作半导体(SnO<,2>)薄膜电热元件,对不同衬底(石英和玻璃)的二元薄膜材料和掺杂的六元薄膜材料测其电阻随温度变化的曲线,证实了以石英为衬底的二元薄膜材料有更稳定的性能,且电阻也低,合理掺杂其稳定性更好;测量了薄膜材料随温度的升高及其变形情况,为以后热应力的量化提供了可能.