基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
摘要
结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔洞.并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度.
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