LIGA技术在先进模具制造中的应用

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• 作者：伊福廷张菊芳
• 会议时间：2006-05-10
• 关键词：微机械系统 ; LIGA技术 ; 微细加工 ; 先进模具技术 ; 模具制造
• 作者单位：中科院高能物理研究所同步辐射室,北京,100049
• 母体文献：第十一届中国国际模具技术和设备展览会先进模具制造技术研讨会论文集
• 会议名称：第十一届中国国际模具技术和设备展览会暨先进模具制造技术研讨会
• 会议地点：上海
• 主办单位：中国模具工业协会
• 语种：chi

摘要

LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统(MEMS)加工热潮.经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用.LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1mm以上,是其他任何加工技术所不能够相比的.这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用,提供了坚实的技术基础.该技术的目标就是制造模具,用于注塑和模压工艺过程中所需要的金属模具.通过对该技术以及北京同步辐射的LIGA技术发展现状和应用的介绍,希望对同仁有所帮助,共同推进该技术在模具制造领域内的应用。