应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现
- 作者：李建飞薛兵张俊峰朱小毅王晓蕾
- 会议时间：2012-06-30
- 关键词：微机电加速度计 ; 恒温系统 ; 设计理念 ; 环境温度
- 作者单位：李建飞,薛兵,朱小毅,王晓蕾(中国地震局地震预测研究所,北京100036)张俊峰(北京港震机电技术有限公司,北京102628)
- 母体文献：中国地震学会第14次学术大会论文集
- 会议名称：中国地震学会第14次学术大会
- 会议地点：乌鲁木齐
- 主办单位：中国地震学会
- 语种：chi
摘要
本文研究了一种小型恒温系统的实现方法,以较小的功耗和体积,使MEMS加速度计的工作区域温度保持恒定,从而屏蔽环境温度变化对仪器工作的影响。
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