蓝宝石单晶位错密度测量方法
- 标准编号：GB/T 33763-2017
- 其他标准名称：Test method for dislocation density of sapphire single crystal
- 标准类型：国家标准
- 发布日期：2017-05-31
- 实施日期：2017-12-01
- 标准分类：方法
- CCS：H25
- ICS：77.040
- 起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、深圳市中安测标准技术有限公司
- 起草人：薛抗美、黄修康、杭寅、尹继刚、田野、张永波、张毅
- 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管单位：国家标准化管理委员会
- 执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 标准状态：有效
- 页数：0
- 发布年份：2017
- 部分代替标准：,
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