中频非平衡磁控溅射沉积Ti-DLC膜摩擦磨损性能研究

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• 出版年：2009
• 作者：郑越青；王立平；陈金明；张广安；王云峰
• 单位1：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
• 出生年：1984
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：磁控溅射；DLC薄膜；摩擦磨损性能
• 起始页：36
• 总页数：4
• 经费资助：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所长基金项目（K587-09-JS）.
• 刊名：润滑与密封
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 创刊时间：1976
• 主管单位：中国科学技术协会
• 主办单位：中国机械工程学会；广州机械科学研究院
• 主编：贺石中
• 地址：广州市黄浦区茅岗路828号
• 邮编：510700
• 电子信箱：rhymf@gmeri.com；rfbjb@163.net；webmaster@gmeri.com
• 网址：http://rhymf.com.cn
• 卷：34
• 期：11
• 期刊索取号：P830.6 141-4
• 数据库收录：中文核心期刊；中国科技论文统计刊源；《中国学术期刊文摘》源刊；CA收录期刊；万方数据——数字化期刊群；中国核心期刊（遴选）数据库；中国期刊全文数据库（CJFD）；中文科技期刊数据库
• 核心期刊：中文核心期刊；中国核心期刊（遴选）数据库

摘要

采用中频非平衡磁控溅射技术制备Ti掺杂DLC（Ti-DLC）薄膜，对该薄膜的结构、内应力、结合强度进行了分析，分析了该薄膜与不同材料（Si₃N₄、钢、Ti-DLC）对摩时的摩擦磨损性能。结果表明，该方法沉积的DLC薄膜具有结构致密、内应力低、结合强度较高等特点；Ti-DLC的摩擦磨损性能与对偶材料有关，Ti-DLC与Si₃N₄对摩时摩擦因数最低，磨损率最高；Ti-DLC与钢对摩时摩擦因数最高，且伴随明显波动；Ti-DLC与Ti-DLC对摩时磨损率最低，达到10^-8量级。