陶瓷薄膜低温水溶液沉积评述

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• 出版年：2008
• 作者：欧军飞；周金芳；杨生荣
• 单位1：中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
• 单位2：中国科学院研究生院
• 出生年：1982
• 学历：硕士研究生
• 译者：第26卷第3期Vol.26No.3
• 语种：中文
• 作者关键词：陶瓷薄膜；低温水溶液沉积；生长机理
• 起始页：479
• 总页数：6
• 经费资助：国家自然科学基金（50572107）资助项目
• 刊名：材料科学与工程学报
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1983
• 主管单位：国家教育部
• 主办单位：浙江大学
• 主编：赵新兵
• 地址：杭州浙江大学材料系
• 邮编：310027
• 电子信箱：jmse@ema.zju.edu.cn
• 卷：26
• 期：3
• 期刊索取号：P822.06 448
• 数据库收录：美国CA源期刊；全国中文核心期刊；中文科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库来源期刊；美国CSA收录期刊
• 核心期刊：全国中文核心期刊

摘要

陶瓷薄膜的制备技术多种多样，如物理气相沉积、化学气相沉积、高温烧结和“溶胶一凝胶”法等。这些技术对制备条件都有较高的要求：如高温高真空等。近年发展起来的在低温条件下沉积陶瓷薄膜的技术为我们提供了一种设备简单，在接近室温、常压下可进行操作的方法。本文就这一新兴工艺及其机理进行了评述。