低温热处理对TFA-MOD技术制备YBCO超导薄膜的影响

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• 出版年：2010
• 作者：张云；张国防；金利华；王耀；于泽铭；李成山；卢亚锋
• 单位1：陕西师范大学化学与材料科学学院应用表面与胶体化学教育部重点实验室
• 出生年：1985
• 学历：硕士生
• 语种：中文
• 作者关键词：YBCO超导薄膜；TFA-MOD技术；涂覆环境相对湿度；升温速度
• 起始页：15
• 总页数：5
• 经费资助：国家863计划项目（2006AA03Z204；2008AA03Z201）
• 刊名：材料导报
• 是否内版：否
• 刊频：半月刊
• 创刊时间：1987
• 主管单位：重庆西南信息有限公司（原科技部西南信息中心）
• 主办单位：重庆西南信息有限公司
• 主编：张明
• 地址：重庆市渝北区洪湖西路18号
• 邮编：401121
• 电子信箱：mat-rev@163.com；matreved@163.com；maeditor@gmail.com
• 网址：http://www.mat-rev.com
• 卷：24
• 期：8
• 期刊索取号：P822.06 432
• 数据库收录：中文核心期刊；中国科学引文数据库来源期刊；中国科技论文统计源期刊
• 核心期刊：中文核心期刊

摘要

采用三氟乙酸盐-金属有机沉积（TFA-MOD）技术在LaAlO₃（001）单晶衬底上沉积YBa₂Cu₃O_7-x（YB-CO超导薄膜，研究了低温热处理条件（涂覆环境相对湿度和升温速度）对前驱膜形貌和YBC（）超导膜的影响。从金相显微镜（OM）和扫描电镜（SEM）观察可以看出，高涂覆环境相对湿度是引起前驱膜出现宏观裂纹的主要原因，前驱膜分解速度过快会造成薄膜中出现褶皱和微观裂纹，前驱膜出现不完整性形貌将会影响YBCO薄膜的成相、形貌和性能。通过优化低温热处理条件，获得了表面形貌完整的前驱膜，避免了在高温成相阶段中出现杂相，提高了涂层导体的超导性能，77K时J_c可超过2.0MA/cm²。