超声引线键合过程的信号采集与分析系统

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• 出版年：2010
• 作者：王福亮；刘少华
• 单位1：中南大学机电工程学院现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室
• 出生年：1979
• 职称：副教授
• 语种：中文
• 作者关键词：信号传感与采集；小波分析；键合质量监测；超声引线键合
• 起始页：2189
• 总页数：6
• 经费资助：国家重点基础研究计划（“973”计划）项目（2009CB724203）；国家自然科学基金青年基金资助项目（50705098）
• 刊名：中南大学学报自然科学版
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1956
• 主管单位：教育部
• 主办单位：中南大学
• 主编：黄伯云
• 地址：湖南长沙
• 邮编：410083
• 电子信箱：zngdxb@mail.csu.edu.cn
• 网址：http://www.zndxzk.com.cn
• 卷：41
• 期：6
• 期刊索取号：P706.6 140
• 数据库收录：《工程索引》（EI Compendex)、《化学文摘》《金属文摘》《铝工业文摘》《科学文摘》《科学技术文摘速报》《文摘杂志》《中文核心期刊要目总览》《中国科学论文引文数据库》等国内外检索刊物刊源期刊
• 核心期刊：中文核心期刊要目总览

摘要

根据超声引线键合实验平台结构，设计PZT（压电陶瓷）驱动信号传感电路，搭建键合力传感系统，集成多普勒振动测试系统，获得键合过程中的换能器驱动电压、电流、劈刀振动和键合压力信号。采用PC16110数据采集卡，开发基于LabView8.2的采集软件，实现上述4路信号的同步采集、显示、频谱分析和保存。采用小波时频分析方法对电流信号进行分解，发掘电流信号中与键合质量相关联的一些特征。研究结果表明：信号采集系统能高速、同步采集键合过程中的多路信号；电流信号基频的频率、幅值及变化趋势都在一定程度上反映了键合质量；当电流信号频偏离正常值太大、均值太小和变化趋势异常时都表明键合失效。