甲烷浓度对金刚石薄膜织构的影响

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• 出版年：2005
• 作者：陈志红；余志明；许向阳；刘王平
• 单位1：中南大学材料科学与工程学院
• 出生年：1978
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：热丝化学气相沉积；硬质合金；金刚石薄膜；织构
• 起始页：21
• 总页数：5
• 经费资助：株硬集团合作项目
• 刊名：金刚石与磨料磨具工程
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 主办单位：郑州磨料磨具磨削研究所
• 主编：王琴
• 地址：郑州市华山路121号
• 邮编：450007
• 电子信箱：diamond@371.net
• 期：2
• 期刊索取号：P666.06 836
• 数据库收录：全国中文核心期刊；中国科技论文统计源期刊；Ei收录用刊；CA收录用刊
• 核心期刊：全国中文核心期刊

摘要

采用热丝化学气相沉积法，以甲烷和氢气为反应气体，在硬质合金YG6基体上沉积了金刚石薄膜。研究了不同的甲烷浓度对金刚石织构变化趋势的影响。分别采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）对金刚石膜的表面形貌、织构形成进行了分析。结果表明：当基体温度为760℃，沉积气压为4×10³Pa，甲烷浓度从1%到5%，都形成了（110）织构。但是，当甲烷浓度为3.3%时，有（100）织构。