SrRuO₃导电层对快速退火制备Pb(Zr，Ti)O₃薄膜结构和性能的影响

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• 出版年：2010
• 作者：王宽冒；刘保亭；倪志宏；赵敬伟；李丽；李曼；周阳
• 单位1：河北大学物理科学与技术学院
• 出生年：1985
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：钌酸锶；锆钛酸铅；快速退火
• 起始页：608
• 总页数：6
• 经费资助：国家自然科学基金(No.60876055)；河北省自然科学基金项目(E2008000620)；教育部科学技术研究重点项目(No.207013)；河 北省应用基础研究计划重点基础研究项目(08965124D)
• 刊名：人工晶体学报
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1972
• 主管单位：中国建筑材料联合会
• 主办单位：中材人工晶体研究院
• 主编：沈德忠
• 电子信箱：jtxbbjb@126.com
• 卷：39
• 期：3
• 期刊索取号：P311.06105
• 核心期刊：中文核心期刊

摘要

采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO₂/Si基片上，制备了Pt/Pb(Zr，Ti)O₃(PZT)/Pt和SrRuO₃(SRO)/PZT/SrRuO₃(SRO)异质结电容器，并研究了快速退火条件下SRO导电层对PZT结构和性能的影响。XRD测试表明，两种结构电容器中的PZT薄膜均为钙钛矿结构，SRO/PZT/SRO、Pt/PZT/Pt均具有较好的铁电性和脉宽依赖性，5V电压下两电容器的剩余极化强度P_r和矫顽电压V_c分别为28.3μC/cm²、1.2V和17.4μC/cm²、2.1V。在经过10¹⁰次翻转后，SRO/PZT/SRO铁电电容器疲劳特性相对于Pt/PZT/Pt电容器有了较大的改善，但SRO导电层的引入也带来了漏电流增大的问题。