硅表面钝化处理技术的应用
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- 论文作者：薛海玲 ; 王海超
- 年：2016
- 作者机构：北京明尼克分析仪器设备中心;
- 会议召开时间：2016-09-25
- 会议录名称：2016年全国气体标准化会议论文集
- 语种：中文
- 分类号：TB306
- 学会代码：QGQT
- 会议名称：2016年全国气体标准化会议
- 会议地点：中国浙江杭州
- 主办单位：全国气体标准化技术委员会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
- 学会名称：全国气体标准化技术委员会秘书处
- 页数：1
- 文件大小：376k
- 原文格式：D
- 会议级别：全国
摘要
<正>金属硅表面钝化处理技术应用广泛,效果优异,因此明尼克公司引进美国先进的硅表面钝化处理工艺特点超强化学钝性超高耐腐蚀能力耐高温韧性好涂覆层厚1微米适应各法规分析方法,与特种合金材料相比,大大降低成本应用领域石油化工、油气勘探半导体、航天自动化分析技术、气体制造环境监测采样活性极强以及强酸、强碱气体传输
引文