基于超分辨光谱域光学相干层析术的光学薄膜厚度检测

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• 论文作者：朱丹 ; 高志山 ; 袁群
• 年：2016
• 作者机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院;
• 会议召开时间：2016-09-25
• 会议录名称：第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
• 语种：中文
• 分类号：O484.5
• 学会代码：GNCS
• 会议名称：第十六届全国光学测试学术交流会
• 会议地点：中国上海
• 主办单位：中国光学学会光学测试专业委员会
• 学会名称：中国光学学会光学测试专业委员会
• 页数：1
• 文件大小：10110k
• 原文格式：D
• 会议级别：全国

摘要

<正>基于低相干干涉原理的光学相干层析术(Optical Coherence Tomography,OCT)是一种高分辨率的无损成像技术,在医学成像及工业领域具有广泛应用。在典型的OCT系统中,光谱域OCT(SD-OCT)因其成像速度快、可实现实时三维成像等优点成为目前的热点研究方向。在SD-OCT系统中,轴向分辨率是评价系统成像性能的重要指标。轴向分辨率主要依赖于光源的相干长度,即光源的中心波长越短、带宽越宽,系统的轴向分辨率越

引文