多场耦合微机电系统力学性能研究

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• 论文作者：贾晓丽 ; 孙毅 ; 陈召君
• 年：2017
• 作者机构：中国石油大学(北京)机械与储运工程学院;
• 论文关键词：微机电系统 ; 多场耦合 ; 功能梯度材料 ; 力学性能
• 会议召开时间：2017-01-14
• 会议录名称：北京力学会第二十三届学术年会会议论文集
• 语种：中文
• 分类号：TH-39
• 学会代码：BJLH
• 会议名称：北京力学会第二十三届学术年会
• 会议地点：中国北京
• 主办单位：北京力学会
• 学会名称：北京力学会
• 页数：4
• 文件大小：2518k
• 原文格式：D
• 会议级别：地方

摘要

本文研究基于功能梯度材料的微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)非线性结构力学性能问题。考虑机械场、电场及温度场的耦合效应,建立基于功能梯度材料的MEMS梁结构热-机-电耦合非线性力学模型;研究功能梯度MEMS梁失稳特性,综合分析非线性电场力、温度变化及材料梯度参数对吸合失稳特性及非线性振动特性影响规律,研究如何通过调整系统关键参数提高MEMS器件工作性能,尤其满足耐热性能的要求,为MEMS系统设计与优化提供参考。

引文

1 Ke L L,Wang Y S,Yang J,Kitipornchai S.Nonlinear free vibration of size dependent functionally graded microbeams.International Journal of Engineering Science,2012;50:256~267
    2李清禄,李世荣.功能梯度材料梁在后屈曲构型附近的自由振动.振动与冲击,2011;30(9):76~78
    3 Jia X L,Yang J,Kitipornchai S,Lim C W.Pull-in instability and free vibration of electrically actuated poly-Si Ge graded micro-beams with a curved ground electrode.Applied Mathematical Modeling,2012;36(5):1875~1884