Ti-Cr合金薄膜局域结构的XAFS研究
- 作者：张延志管卫军郑黎荣赖新春汪小琳
- 会议时间：2012-09-13
- 关键词：钛-铬合金薄膜 ; 局域结构 ; 磁控溅射沉积技术 ; X射线吸收精细结构谱
- 作者单位：张延志,管卫军,赖新春(表面物理与化学重点实验室,四川绵阳621907)郑黎荣(中国科学院高能物理研究所,北京100049)汪小琳(中国工程物理研究院,四川绵阳621900)
- 母体文献：第四届高能束加工技术国际学术会议论文集
- 会议名称：第四届高能束加工技术国际学术会议
- 会议地点：青岛
- 主办单位：中国机械工程学会
- 语种：chi
摘要
为了研究薄膜厚度对Ti-Cr合金薄膜局域结构的影响,通过磁控溅射沉积技术制备了不同厚度的Ti-Cr合金薄膜试样,合金薄膜中Ti和Cr的含量接近.利用X射线吸收精细结构(XAFS)谱和X射线衍射(XRD)仪研究了Ti-Cr合金薄膜的局域结构状态.X射线吸收近边结构谱(XANES)分析结果显示,元素的吸收边能量E0随薄膜厚度出现有规律的变化.XRD和扩展X射线精细结构吸收谱(EXAFS)结果显示,制备的合金薄膜为长程无序的非晶态,并分析了薄膜厚度对合金薄膜局域结构的影响.