发泡海绵过滤防尘网过滤性能的实验研究

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• 作者：毛宁贾玉柳静献孙熙
• 会议时间：2015-09-01
• 关键词：发泡海绵过滤防尘网 ; 微观结构 ; 测试装置 ; 过滤性能
• 作者单位：东北大学滤料检测中心
• 母体文献：全国袋式除尘技术研讨会论文集
• 会议名称：全国袋式除尘技术研讨会
• 会议地点：江苏阜宁
• 主办单位：中国环境保护产业协会袋式除尘委员会
• 语种：chi
• 分类号：TP2;X51

摘要

空气过滤材料的过滤性能是阻碍芯片制造技术进步的关键问题之一.本研究选取了发泡海绵过滤防尘网作为研究对象,对其微观结构进行了分析.同时设计并开发了空气过滤材料过滤性能测试装置,对发泡海绵过滤防尘网的过滤性能进行了实验研究.研究结果表明:随着孔隙率的降低和过滤速度的降低,发泡海绵过滤防尘网的过滤效率增加;而随着相对湿度的增加,发泡海绵过滤防尘网的过滤效率增加.