三分量石英晶体谐振式压力传感器研制

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• 作者：崔笃信王庆良陶茂盛
• 会议时间：2012-06-30
• 关键词：地震观测 ; 谐振式压力传感器 ; 石英晶体 ; 制备工艺 ; 弹性膜片 ; 压力分量
• 作者单位：中国地震局第二监测中心,西安710054
• 母体文献：中国地震学会第14次学术大会论文集
• 会议名称：中国地震学会第14次学术大会
• 会议地点：乌鲁木齐
• 主办单位：中国地震学会
• 语种：chi

摘要

本文利用石英晶体谐振器的共振频率随被测物理量变化而变化的特点,采用两种方案:一种是膜片与壳体为同一材料加工而成;第二种方案是壳体用刚性强的材料加工而成,膜片采用弹性好的材料。研制了石英晶体谐振式压力传感器,通过用标准压力仪对传感器的每一分量进行标定,确定了其压力与传感器输出频率的线性关系。