NiPt60%合金靶材磁控溅射前后形貌及结构观察

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• 作者：王传军闻明张俊敏沈月易伟管伟明谭志龙
• 会议时间：2015-11-01
• 关键词：镍铂合金 ; 磁控溅射 ; 微观形貌 ; 结构特征
• 作者单位：昆明贵金属研究所,贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用国家重点实验室,昆明650106
• 母体文献：2015年中国贵金属论坛论文集
• 会议名称：2015年中国贵金属论坛
• 会议地点：云南大理
• 主办单位：中国金属学会
• 语种：chi

摘要

镍合金和铂合金靶材是电子半导体行业重要的镀膜材料.研究镍合金和铂合金靶材对于改善薄膜质量和提高器件性能有重要意义.采用2种不同工艺制备了NiPt60%合金溅射靶材.使用金相显微镜(OM),扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)观察并分析了磁控溅射前后靶材表面的形貌及结构.结果表明,采用热轧-热处理制备的靶材晶粒粗大但均匀,平均晶粒尺寸约为100 μm;采用温轧-热处理制备的靶材细小但不均匀,平均晶粒尺寸约为50岬.溅射后的靶材形貌与晶粒尺寸和分布息息相关.