钛合金表面梯度偏压含钛非晶碳纳米多层膜的制备及性能研究

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• 作者：白文琦王秀丽涂江平
• 会议时间：2015-07-18
• 关键词：含钛非晶碳多层膜 ; 闭合场非平衡磁控溅射法 ; 力学性能 ; 摩擦性能 ; 钛合金 ; 梯度偏压
• 作者单位：浙江大学材料科学与工程学院,硅材料国家重点实验室
• 母体文献：第十一次全国热处理大会论文集
• 会议名称：第十一次全国热处理大会
• 会议地点：太原
• 主办单位：中国机械工程学会热处理分会
• 语种：chi
• 分类号：TB7;TG1

摘要

采用工业级闭合场非平衡磁控溅射在医用Ti6Al4V合金基底上制备了恒定偏压和梯度偏压的含钛非晶碳多层膜.通过扫描电子显微镜(SEM),投射电子显微镜(TEM)及X射线光电子能谱(XPS)对薄膜的微观形貌及组织结构进行了分析,纳米显微硬度仪、划痕法及球-盘式摩擦磨损测试仪对薄膜的力学和摩擦性能进行了评估.研究表明,偏压对含钛非晶碳膜的微观组织结构、力学和摩擦性能都有较大的影响.与恒定偏压的薄膜相比,梯度偏压的薄膜具有较高的硬度和韧性,在空气及Hank's溶液中呈现良好的摩擦性能,展现出良好的医学应用前景.