磁控溅射镀覆氮化钛工艺研究

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• 作者：郭松刘超超高强
• 会议时间：2013-11-13
• 关键词：磁控溅射 ; 氮化钛 ; 结合强度 ; 偏压
• 作者单位：河南黄河旋风股份有限公司, 河南长葛461500
• 母体文献：第六届郑州国际超硬材料及制品研讨会暨庆祝中国人造金刚石诞生50周年大会论文集
• 会议名称：第六届郑州国际超硬材料及制品研讨会暨庆祝中国人造金刚石诞生50周年大会
• 会议地点：郑州
• 主办单位：中国机床工具工业协会
• 语种：chi
• 分类号：TG1;O48

摘要

通过实验研究磁控溅射镀氮化钛时各因素对镀层颜色和结合力的影响,发现溅射时电流大小、温度、偏压、真空度和氮气流量等因素对镀层影响明显.实验表明不同材料做基体时,需要的条件因素需适当改变.金属基体结合牢固,非金属结合较难.常温下,偏压250V、真空度0.35Pa、总功率1400W时,氮气流量在5sccm是最佳镀覆条件.