La_1-xSr_xMnO₃电极的制备及其对Ba_1-xSr_xTiO₃薄膜介电性能的影响

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• 出版年：2010
• 作者：辛立强；付兴华；于玲君；崔永涛
• 单位1：济南大学材料学院
• 出生年：1982
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：溶胶-凝胶技术；La_1-xSr_xMnO₃电极；Ba_1-xSr_xTiO₃；外延生长；介电性能
• 起始页：262
• 总页数：5
• 经费资助：济南大学博士基金资助项目
• 刊名：人工晶体学报
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1972
• 主管单位：中国建筑材料联合会
• 主办单位：中材人工晶体研究院
• 主编：沈德忠
• 电子信箱：jtxbbjb@126.com
• 卷：39
• 期：1
• 期刊索取号：P311.06105
• 核心期刊：中文核心期刊

摘要

采用溶胶-凝胶法在Si(100)基底上制备了La_1-xSr_xMnO₃电极材料。采用XRD、SEM对材料的晶体结构、表面形貌、薄膜厚度进行了表征，研究了退火温度对薄膜结构及电阻率的影响，以及介电常数与介电损耗随频率变化的关系。结果表明：在x=0.5，退火温度为800℃时，La_0．5Sr_0.5MnO₃薄膜的电阻率为1.2×10^-2Ω·cm。La_0.5Sr_0.5MnO₃薄膜与Ba_1-xSr_xTiO₃匹配性较好，实现了BST薄膜的外延生长，其介电性能比在Pt上制备的Ba_1-xSr_xTiO₃得到了明显的改善。