钦表面沉积Fe-Pd磁性薄膜的研究

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• 出版年：2005
• 作者：马波；王克光；李争显；周廉；程何祥
• 单位1：西北有色金属研究院
• 单位2：东北大学
• 出生年：1976
• 学历：硕士
• 语种：中文
• 作者关键词：TA1钦表面；Fe-Pd薄膜；扩散
• 起始页：1341
• 总页数：4
• 经费资助：国家自然基金课题（30470486/C010515）
• 刊名：稀有金属材料与工程
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 主管单位：中国科学技术协会
• 主办单位：中国有色金属学会；中国材料研究学会；西北有色金属研究院
• 主编：殷为宏
• 地址：北京市东黄城根北街16号
• 邮编：100717
• 电子信箱：rmme@c-nin.com
• 网址：http://www.c-nin.com
• 卷：34
• 期：8
• 期刊索取号：P822.06 141-1
• 数据库收录：国家重点学术期刊；首届国家期刊奖；中国优秀科技期刊一等奖；中国有色金属工业；优秀科技期刊一等奖；中国期刊方阵双奖期刊；陕西省优秀科技期刊特等奖；中国科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库文献源；中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊；中国学术期刊光盘版入网刊物；美国ISI数据库用刊(Sci Search®，Research Alert®,Materials ScienceCitation Index®）；美国工程索引(EI)文献源期刊；美国化学文摘(CA)文献源期刊；英国科学文摘(INSP
• 核心期刊：中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊

摘要

采用电弧离子镀设备，以高纯Fe靶和Pd靶为原料，在TA1工业纯钦表面先后沉积Fe，Pd2层单金属薄膜。对样品分别进行700℃～1100℃，保温0.5h～3h的真空退火处理，使Fe膜和Pd膜之间形成扩散层，制备FePd磁性膜。重点研究了Fe，Pd及钛衬底之间的互扩散机制，膜层结构，薄膜的相组成。结果表明：在700℃，0.5h处理后FePd薄膜的合金化较好；在900℃，1h处理后虽有FePd相形成，但基体中的Ti已经扩散至表面：温度高于900℃且保温时间长于1h处理，不利于FePd膜的形成。