MEMS中的摩擦学研究及发展趋势

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• 出版年：2005
• 作者：李洲洋；陈国定
• 单位1：西北工业大学机电学院
• 语种：中文
• 作者关键词：纳米摩擦学；微机电系统（MEMS）；固体薄膜润滑；超薄膜润滑
• 起始页：180
• 总页数：8
• 刊名：润滑与密封
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1976
• 主办单位：中国机械工程学会摩擦学分会；广州机械科学研究院
• 主编：贺石中
• 地址：广州市黄浦区茅岗路828号
• 邮编：510700
• 电子信箱：rhymf@gmeri.com；rfbjb@163.net；webmaster@gmeri.com
• 网址：http://www.rhymg.com.cn
• 期：4
• 期刊索取号：P830.6 141-4
• 数据库收录：中文核心期刊；中国科技论文统计刊源；Ei Compendex数据库核心刊源；CA收录期刊
• 核心期刊：中文核心期刊

摘要

对近年国内外MEMS摩擦学研究的新进展作了综述，介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性，讨论了包括环境条件、材料处理、表面改性、固体薄膜润滑、分子超薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑问题上的研究状况，并提出了当前相关研究中所遇到的问题，及今后MEMS摩擦学发展的方向。