惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材研究

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• 出版年：2006
• 作者：王赞海；王星明；储茂友；郭奋；赵鑫；沈剑韵
• 单位1：北京有色金属研究总院矿物资源与冶金材料研究所
• 单位2：北京化工大学教育部超重力研究中心
• 出生年：1980
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：溅射靶材；W/Ti合金靶材；扩散阻挡层；热压
• 起始页：688
• 总页数：4
• 经费资助：国家自然科学基金资助项目（50501003）；国家科技攻关资助项目（2004DFBA0003）
• 刊名：稀有金属
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1977
• 主管单位：中国有色金属工业协会
• 主办单位：北京有色金属研究总院
• 主编：屠海令
• 地址：北京新街口外大街2号
• 邮编：100088
• 电子信箱：xxsf@grinm.com
• 网址：http://www.grinm.com.cn
• 卷：30
• 期：5
• 期刊索取号：P755.06 709-1
• 数据库收录：中文核心期刊；冶金工业类核心期刊；美国化学文摘（CA）源期刊；中国科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库源期刊；中国物理学文献数据库原期刊
• 核心期刊：中文核心期刊；冶金工业类核心期刊

摘要

用W粉和Ti粉作原料，采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材。研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系。结果表明，控制温度在1250～1450℃之间，压力在20MPa左右，保温时间在30min左右可制备高性能的W/Ti合金靶材。