光敏苯并环丁烯的合成研究

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• 出版年：2007
• 作者：王姣；唐先忠；赵松楠；李元勋
• 单位1：电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
• 出生年：1982
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：光敏；BCB；合成；分子设计
• 起始页：56
• 总页数：4
• 经费资助：四川省重点科技攻关项目（03GG009-002）
• 刊名：材料导报
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 创刊时间：1987
• 主办单位：科学技术部西南信息中心
• 主编：张明
• 地址：重庆市北部新区洪湖西路18号
• 邮编：401121
• 电子信箱：mat-rev@163.com；matreved@163.com；editer@mat-rev.com
• 网址：http://www.mat-rev.com
• 卷：21
• 期：8
• 期刊索取号：P822.06 432
• 数据库收录：全国中文核心期刊；中国科学引文数据库来源期刊；中国科技论文统计源期刊
• 核心期刊：全国中文核心期刊

摘要

光敏苯并环丁烯（BCB）以其优良的电特性、极低的吸水率以及能够大大简化器件制造工艺等优点成为微电子领域特别是用于多芯片组件（MCM）最理想的绝缘介质材料。介绍了目前光敏BCB的研究现状及应用情况，分析了两种常用的光敏BCB的结构和合成方法，并提出了一种新型光敏BCB的设计思路。