Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层薄膜在微型钻头上的应用性能
- 出版年：2010
- 作者：林松盛；代明江；侯惠君；朱霞高
- 单位1：广州有色金属研究院材料表面工程研究所
- 出生年：1973
- 学历：硕士
- 职称：高级工程师
- 语种：中文
- 作者关键词：磁控溅射；多元多层薄膜；微型钻头；钻削性能
- 起始页：67
- 总页数：3
- 经费资助：广东省技术创新基金资助项目（200503027）
- 刊名：材料保护
- 是否内版：否
- 刊频：月刊
- 创刊时间：1960
- 主办单位：武汉材料保护研究所；中国腐蚀与防护学会；中国表面工程协会
- 电子信箱：bjb@mat-pro.com
- 网址：http://www.mat-pro.com
- 卷：43
- 期：11
- 期刊索取号：P822.06 331
摘要
为了提高微电子线路板（PCB）加工用微型钻头的使用寿命及保证钻孔质量，采用中频反应磁控溅射离子束辅助的方法分别在WC硬质合金和微型钻头上沉积了Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层梯度硬质薄膜研究了多层膜的结构、形貌及钻削性能。结果表明：在WC硬质合金上沉积的多层膜显微硬度为2631HV，膜/基结合力大于80N，摩擦系数为0.113；镀膜后微钻刃型完好，刃型角度没有改变，同一钻头不同部位沉积的膜层厚度一致；微钻镀膜后使用寿命提高1倍以上，且解决了断针、批锋、塞孔等问题，同时满足孔位精度、孔壁粗糙度等技术要求。