TiNi/ZnO复合智能薄膜的制备及性能研究
- 出版年：2010
- 作者：曾光；李子全；周衡志
- 单位1：南京航空航天大学
- 单位2：西北有色金属研究院
- 出生年：1983
- 学历：硕士
- 职称：助理工程师
- 语种：中文
- 作者关键词：智能薄膜；射频磁控溅射；TiNi/ZnO复合薄膜；微观结构；阻尼性能
- 起始页：1447
- 总页数：4
- 刊名：稀有金属材料与工程
- 是否内版：否
- 刊频：月刊
- 主管单位：中国科学技术协会
- 主办单位：中国有色金属学会；中国材料研究学会；西北有色金属研究院
- 主编：殷为宏
- 电子信箱：rmme@c-nin.com
- 网址：http://www.rmme.ac.cn
- 卷：39
- 期：8
- 期刊索取号：P822.06141-1
- 数据库收录：中国科技期刊篇名数据库收录刊物
- 核心期刊：中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊
摘要
使用射频磁控溅射法在石英衬底上制备quartz/ZnO/TiNi及quartz/TiNi/ZnO复合薄膜结构；利用XRD、SEM划痕仪等测试方法研究了复合薄膜的相结构、微观组织、力学性能。利用DMA分别研究了quartzTiNi与quartz/ZnO/TiNi复合结构的阻尼性能随振动频率及振幅的变化规律。结果表明；前者频率响应范围在10Hz以内；后者响应范围达到20Hz；前者的临界外加激振电压仅为0.6V；后者的临界外加激振电压达到1.0V。阻尼性能测试表明；quartz/ZnO/TiNi复合结构的阻尼性能优于quartz/TiNi复合结构。由划痕仪测得两种复合薄膜结构与基体的临界结合力分别为45.75和40.15N。